随着全球科技市场的快速发展,芯片制造技术的水平也在不断提升。据相关消息显示,三星已经领先台积电一步,就3nm的芯片产品进行试产。
而台积电方面,则计划在年下半年,正式开启3nm制程工艺的商业化量产。但就目前为止,内地芯片代工企业所能够提供的芯片代工水平,最先进也只到达了14nm工艺。是什么阻止了国产芯片代工技术的发展?中企又该如何破局?
目前来看,阻碍我国发展先进代工技术的最主要原因,就是由于EUV光刻机等设备的采购迟迟不能够到位。年,内地最大的晶圆代工机构中芯国际,就曾向荷兰ASML订购一台EUV光刻机,但是,碍于《瓦森纳协定》以及老美的干涉,这台光刻机最终并没有真正意义上的交付。
而国产芯片发展到14nm之后,之所以迟迟没有新进展,就与EUV光刻机无法到货有很大的联系。随着芯片制程精度的不断提升,业内普遍认为常规的DUV(浅紫外光刻机),无法担任7nm制程以下芯片的加工。
由于没有EUV光刻设备,相关理论的验证就陷入了停滞阶段。中芯国际也不得不转而发展N+1、N+2等先进代工技术,即通过多重曝光、双工作台等技术辅助,来生产性能更加先进的芯片产品。
7月20日,荷兰ASML又传来了下一代光刻机High-NAEUV光刻机的消息,该光刻机的物镜系统、光源、工作台三大件已经到货,计划在年发布High-NAEUV光刻机,年实现量产。
据了解,该光刻机计划被用于生产1nm等更先进制程工艺的芯片,若ASML成功量产High-NAEUV光刻机,则会进一步拉大国内芯片代工产业链与外界顶尖技术的差距。
按照以往惯例,ASML生产出下一代EUV光刻机之后,现有的EUV光刻机设备将会“解禁”,因为,其已经不能够代表ASML的顶尖技术。就目前而言,ASML仍未对EUV光刻机能否出货给中企进行明确回应。
中国院士的呼吁应该重视了!加上老美方面的干涉,ASML想要出货EUV光刻机给其他中企,可以说难度上还是非常之大的,所以,我国院士倪光南也曾呼吁,在核心技术领域,必须依靠自主创新来进行突破,不能够对外界抱有奢望。
“核心技术是买不来、换不来、求不来的,必须要由我们自己掌握。”想要ASML出货EUV光刻机给我们,就必须在EUV光刻机技术上实现重大突破。
目前,可以肯定的是,我国有关部门及机构,已经开始在EUV光刻领域有所布局。相关的技术一旦取得突破,就可以让ASML感到忌惮,从而加快对EUV光刻设备进行出货。即便ASML最终仍无法出货EUV光刻机给我们,依靠现有的技术水平,自研出性能更加先进的光刻设备。
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